Công tắc quang MEMS là một công tắc vi quang được làm bằng vật liệu bán dẫn, thường được sử dụng làm gương siêu nhỏ di động có thể làm lệch tín hiệu quang từ sợi quang đầu vào sang sợi đầu ra. Nó bao gồm những ưu điểm là nhỏ gọn, nhẹ và dễ mở rộng. Bên cạnh đó, nó chia sẻ những ưu điểm của cả công tắc quang cơ học và công tắc quang dẫn sóng. Vì EMES kết hợp toàn bộ tích hợp điện, cơ và quang học, nó dường như có thể truyền các tốc độ khác nhau và các dịch vụ kinh doanh khác nhau. Công tắc MEMS có khả năng mở rộng tốt. Các mảng hai chiều có kích thước 32×32 đã có sẵn và có thể được sử dụng làm khối xây dựng cơ bản, trong kiến trúc một giai đoạn, để mở rộng quy mô lên đến 256 cổng.
