Công tắc quang MEMS là một công tắc quang học vi mô được làm bằng vật liệu bán dẫn, thường được sử dụng làm gương vi mô có thể di chuyển có thể làm chệch hướng tín hiệu quang học từ đầu vào đến sợi đầu ra. Nó nắm lấy những lợi thế như nhỏ gọn, nhẹ và dễ dàng để mở rộng. Bên cạnh đó, nó chia sẻ giá trị của cả công tắc quang học cơ học và công tắc quang hướng dẫn sóng. Vì EMES kết hợp tích hợp điện, cơ khí và quang học nói chung, nó dường như có thể truyền các mức giá khác nhau và các dịch vụ kinh doanh khác nhau. Công tắc MEMS có khả năng mở rộng tốt. Các mảng hai chiều với kích thước 32×32 đã có sẵn và có thể được sử dụng làm khối xây dựng cơ bản, trong kiến trúc một giai đoạn, để mở rộng lên đến 256 cổng.
