MEMS là gì? MEMS (hệ thống cơ điện siêu nhỏ) đề cập đến các thiết bị hoặc hệ thống vi mô có thể được sản xuất theo lô bằng cách tích hợp máy móc vi mô, thiết bị truyền động vi mô, xử lý tín hiệu và mạch điều khiển. Quá trình chuẩn bị cấu trúc cơ học vi mô bao gồm in thạch bản, khắc chùm tia ion, khắc hóa học, liên kết wafer, v.v. đồng thời, các điện cực được chuẩn bị trên cấu trúc cơ học để điều khiển thông qua công nghệ điện tử.
MEMS là một loại hệ thống vi động cơ. Sau khi chuẩn bị cấu trúc vi cơ cần được điều khiển bằng công nghệ điện tử. Các cơ chế truyền động điển hình bao gồm lực hút tĩnh điện, lực điện từ, độ hẹp điện và cặp nhiệt điện. Trong số tất cả các cơ chế truyền động của các thiết bị MEMS, cấu trúc hút tĩnh điện được sử dụng rộng rãi nhất vì chuẩn bị đơn giản, điều khiển dễ dàng và tiêu thụ điện năng thấp.
Công tắc quang MEMS là khắc một số thấu kính siêu nhỏ trên tinh thể silicon và làm cho mảng gương siêu nhỏ quay thông qua tác dụng của lực tĩnh điện hoặc lực điện từ, để thay đổi hướng lan truyền của ánh sáng đầu vào để thực hiện chức năng bật-tắt của đường dẫn quang. Công tắc quang MEMS chuyển đổi tuyến sóng ánh sáng thông qua thông tin điều khiển bên ngoài và mức cao và thấp tương ứng để kiểm soát xem thấu kính siêu nhỏ bên trong có được nâng lên hay không.
