MEMS là gì? MEMS (hệ thống cơ điện vi mô) đề cập đến các thiết bị hoặc hệ thống vi mô có thể được sản xuất theo lô bằng cách tích hợp máy móc vi mô, bộ truyền động vi mô, xử lý tín hiệu và mạch điều khiển. Quá trình chuẩn bị cấu trúc cơ học vi mô bao gồm in thạch bản, khắc chùm ion, khắc hóa học, liên kết wafer, v.v. đồng thời, các điện cực được chuẩn bị trên cấu trúc cơ học để điều khiển thông qua công nghệ điện tử.
MEMS là một loại hệ thống micromotor. Sau khi chuẩn bị cấu trúc cơ học vi mô, nó cần phải được điều khiển bởi công nghệ điện tử. Các cơ chế lái xe điển hình bao gồm thu hút tĩnh điện, lực điện từ, điện giật và cặp nhiệt điện. Trong số tất cả các cơ chế lái xe của các thiết bị MEMS, cấu trúc thu hút tĩnh điện được sử dụng rộng rãi nhất vì chuẩn bị đơn giản, dễ kiểm soát và tiêu thụ điện năng thấp.
Công tắc quang học MEMS là khắc một số ống kính siêu nhỏ trên tinh thể silicon và làm cho mảng gương siêu nhỏ xoay qua hoạt động của lực tĩnh điện hoặc lực điện từ, để thay đổi hướng lan truyền của ánh sáng đầu vào để nhận ra chức năng bật tắt của đường dẫn quang học. Công tắc quang học MEMS chuyển đổi tuyến sóng ánh sáng thông qua thông tin điều khiển bên ngoài và mức cao và thấp tương ứng để kiểm soát xem ống kính vi mô bên trong có được nâng lên hay không.
