Hệ thống cơ điện vi mô (MOEMS), tích hợp hệ thống điện tử cơ khí vi mô (MEMS) và thiết bị quang học, làm cho thiết bị quang học phát triển nhanh chóng theo hướng thu nhỏ. Việc sử dụng công nghệ gia công vi mô có thể đạt được độ chính xác xử lý cao và có thể làm cho các Thiết bị truyền động, gương quang học và ống dẫn sóng quang học khác nhau được tích hợp với laser bán dẫn, thiết bị phát hiện quang điện, v.v. để tạo thành một hệ thống quang điện chủ động, vì vậy MOEMS là một lĩnh vực ứng dụng đầy hứa hẹn của MEMS. So với các công tắc quang truyền thống ban đầu, nó có thể đạt được hiệu suất tuyệt vời như tổn thất chèn nhỏ, thời gian chuyển đổi ngắn và tiêu thụ điện năng thấp, và ngoại hình nhỏ. Nó có thể được sản xuất hàng loạt trên dây chuyền sản xuất Ic trưởng thành, giúp giảm đáng kể chi phí.